5kW 반평행광 노광기

GIO - SL5K2
- 반평행광 방식의 균일한 노광 품질 제공
- Double Side Exposure 방식 적용
- 60μm급 고정밀 패턴 구현

10kW 반평행광 노광기

GIO - SL10K2
- 안정적인 광량 제어 및 노광 품질 확보
- PSR PCB 양면 노광 지원
- 75μm급 고해상도 패턴 구현

수동 평행광 노광기

GIO - MDL5K
- 90% 이상의 우수한 광 균일도 제공
- 50μm급 고해상도 패턴 구현
- 단면 순차 노광 방식